FREAKS NO.03

NOBORU
OTSUKA

半導体微細化のカギを握る
「材料」の化学。

VOICE OF FREAKS

INTERVIEW

JSR株式会社

大塚 昇

有機合成化学専攻修了 

2005年入社

リソグラフィー材料開発室とマテリアルズ・インフォマティクス推進室を兼務。
半導体の微細化に必要不可欠なフォトレジストを開発している。

01.

「新しい化学反応」を創り出す。

高校の化学の実験で「物質と物質を反応させると、新しいものが創り出せる」というモノづくりの面白さを知ったのが、この道に進んだきっかけです。大学では一酸化炭素を活用したラジカル反応の研究を行い、豊富な炭素資源である一酸化炭素から有用な物質を生み出す新しい化学反応の探索に熱中していました。
JSRに入社した後はずっとフォトレジストの開発を担当しています。フォトレジストは、光の当たった部分だけ、現像液と呼ばれる溶剤への溶けやすさが変化する薬剤。半導体の微細回路を作るのに必要不可欠な材料であり、ポリマー、感光剤、溶剤が主成分です。

最先端の半導体ではインフルエンザウィルスよりも遥かに小さい10数ナノメートルレベルの加工幅の回路パターンを作るために使われています。形成する回路パターンに応じて最適なフォトレジストの開発が求められ、それを達成するための分子設計に日々取り組んでいます。ナノメートル世界の化学反応を設計通りにコントロールできた時の達成感は何ものにも代えがたいものです。高度な設計技術とそれを支える分析技術が私たちの誇りであり、私たちの技術がなければ半導体の微細化は達成できないと自負しています。

02.

02.

「世界が変わる」をけん引する。

半導体の技術革新サイクルは速く、フォトレジスト開発にもスピードが求められるため苦労も多いです。しかし、お客さまである半導体メーカーから、我々が開発した製品に対するフィードバックをすぐにいただけるのでやりがいがあります。「お客さまが求めている性能を達成するためにはどういう構造が必要なのか?」部署を超えてディスカッションする場面も多いです。私は有機合成化学が専門ですが、高分子化学、量子化学、光化学など様々な分野の専門家が集まります。最近では計算科学も大きな力となっています。「こういう方法がいいんじゃない?」「迷ってるなら試してみようよ!」と新しい知識を学びながらチームで仕事を進めていくことが本当に楽しいです。私たちのフォトレジストを使った半導体チップは世界中のパソコンやスマートフォンなどのデジタル機器に搭載され、人々のあらゆる生活の場で活躍しています。スピーディーな半導体業界で働く面白さの一つだと思います。

半導体の微細化はこれからもデジタル技術発展の基盤です。息子がサッカーをやっているので一緒によく試合を見に行きますが、人気の試合はチケットがなかなか取れません。「家にいながら、VRを使ってスタジアムで観戦してるような体験ができたらいいね」と話しています。かつては夢物語だったAIや自動運転技術も半導体の進化に伴って現実のものとなりました。こういったVRもすぐに実現されると思っています。世界が変わろうとしている場面に、材料メーカーとしてアプローチできる高揚感。入社以来飽きたことが一度もない仕事です。

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