カンケンテクノ株式会社 | 人を知る | 半導体業界研究サイト「SEMI FREAKS」

INTERVIEW

カンケンテクノ株式会社

坂﨑　一貴

工学部電子物質化学科

2019年入社

技術開発本部　第1設計部。環境問題に関心があり、同社に入社。
半導体の製造工程で排出されるガスをクリーンにする装置の機械設計を担当。

01.

きっかけは、
小学校で学んだ環境問題。

「エネルギー利用による環境問題から、どのように地球を守るのか」。私が理系分野に興味を持った原点は、小学校の授業で環境問題を勉強したことでした。アジアやアフリカの砂漠化、地球温暖化による海水面の上昇など、子ども心ながら衝撃を受けるものばかりで、「自分にできることは何か」ということを考えるようになったのです。大学では半導体の微細化に関する研究に打ち込んでいたのですが、就活を機に半導体製造装置について調べていくうちに、製造過程で生まれる有害ガスについて考えるようになりました。そういった背景もあって、ガスを除害する装置を開発し、大気環境の改善や地球温暖化防止に取り組んでいるカンケンテクノの技術が魅力的に映ったのです。

半導体や液晶ディスプレイの製造過程では、ウェーハ上に薄膜を堆積するデポジション、薄膜を除去するエッチング、不純物のクリーニングなどの工程で、人体に有毒であるフッ素系ガスや温室効果が高い代替フロンガスといった有害なガスが生まれます。それらを除害し、せき止めるのが私たちの役割。私はその中でも、AutoCADを使って排ガス除害装置の製図や出図をする仕事を担当しています。装置にはプラズマ式と電気ヒーター式があり、除害できる物質や稼働コスト、耐久性など、それぞれにメリットとデメリットがあるので、お客様のニーズや製造ラインを見極めて、提案・設計します。

02.

半導体の進化で、
地球環境をクリーンに。

「半導体の製造に、これほどまでに除害装置が使われているのか！」初めてお客様の半導体工場に足を踏み入れたときの驚きと感動は、今でも忘れられません。目の前に、1000基以上の除害装置が、ずらりと並んでいたのです。除害装置が半導体製造にいかに重要かを改めて感じられた瞬間でした。半導体は、微細化、高度化がものすごいスピードで進んでいるので、見たことのないような未知のガスが、製造過程で出てくることもあります。「腐食性が強いから、部品がやられちゃうんだよね」「これ、どうやって除去しようか？」営業、現地でメンテナンスを行うテクニカルサービス、電気設計、研究開発など、いろいろな部署の人たちと議論し、知恵を出し合って考えているときが、一番楽しい時間です。

今、半導体技術の進化によって、便利で夢のある未来の生活がクローズアップされています。でも、環境問題が置き去りにされては、「半導体の進化＝人々のしあわせ」にはつながらない。だから、「半導体の進化と並行して、地球環境を改善するような取り組みができないか」を、いつも考えています。有害ガスや物質を除害するときに使うヒーターやプラズマの稼働電力を抑えることも、一つのテーマ。水を工場内で再利用して、水資源の消費を抑える装置もあります。半導体に電気の輸送技術を持たせることができれば、風力や太陽光など自然エネルギーへの取り組みが加速するかもしれません。

「半導体の出現によって、地球もクリーンできれいになった」。そう人々が思う時代を、創っていきたいと思っています。